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技術新聞

圓臺平面磨床加工半導體行業中的晶圓

隨著全球AI的快速發展,全世界對半導體芯片的需求也快速增長。晶圓做為半導體的載體,如何磨削晶圓,對于生產半導體芯片的工廠至關重要。晶圓通常是由超高純度的單晶硅圓柱體切割而成的薄圓片,常見的有8英寸和12英寸的規格,更大尺寸的晶圓意味著單次能生產出更多的芯片,從而提高加工效率,降低生產成本。

從硅原料到最終的半導體成品芯片,中間要經過上百道工序,我們目前生產的數控圓臺平面磨床,主要作用是加工由晶棒切割成薄片的工件,通常是8英寸或者12英寸的晶圓薄片,讓其表面變得更光滑,為晶圓下一道工序做準備。

近日墨西哥的一家工廠,正考慮建設一座12英寸半導體硅晶圓工廠,他們需要一臺數控全自動平面磨床,可以加工從晶棒到晶圓的工件,磨削后使其粗糙度滿足客戶需求。在詳細了解客戶需求后,我們推薦了公司專研的半導體行業專用臥軸圓臺平面磨床,該磨床適用于磨削環形零件、軸承、閥片、鋸片、陶瓷、水晶、玻璃、石英、碳化硅等精密零件加工。

客戶需要加工的12英寸晶圓

上海鞍提仕數控臥軸圓臺平面磨床 MGGK7363

機器的主要參數如下:

主要參數 單位 MGGK7363
工作臺直徑 mm 630
電磁吸盤直徑 mm 630
磨削工件最大尺寸(直徑×高) mm 630×200
最大承重 Kg ≤500
工作臺可傾斜角度 degree ±3
工作臺轉速 (無極調速) r/min 0.5-150
工作臺拖板水平往復速度 m/min 0.1-2
工作臺拖板水平往復最大移動量 mm 340
金剛石砂輪尺寸(外徑×內徑×高) mm 400×40×127
磨頭主軸轉速(變頻調速) r/min 3000
磨頭垂直最大移動量 mm ?250
磨頭垂直快速升降速度 mm/min 300
磨頭主軸中心線至工作臺面距離 mm 130~380
磨頭垂直自動進給量 ?mm 0.001-0.02
電子手輪進給倍率 X1X10X100
磨頭電機功率 KW 7.5
磨頭快速升降電機功率 KW 1.3
工作臺旋轉電機功率 KW 3.7
工作臺拖板水平往復電機功率 KW ?1.3
冷動水泵電機功率 ??KW? 0.125?
潤滑電子油泵電機功率 KW 0.4
機床總功率 KW ≈ 14
機床外形尺寸(長X寬X高) mm 2350x1250x1950
機床重量(約) KG 3500/3900

如果你也有是半導體相關行業的工廠,有圓臺平面磨床的需求,歡迎隨時咨詢上海鞍提仕。我們有專業的工程師能夠為你提供專業的技術支持。

公司郵箱:contact@antsmachine.com

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